在半導體、LED、光伏及MEMS等高科技領域，氣體的純凈度直接影響產品的性能和質量。0F系列在線式專用氣體過濾器專為高流量電子級氣體超純凈化設計，憑借其卓越的性能和先進的技術，成為這些行業氣體過濾的首選。此外，該系列中的哈氏合金在線式氣體過濾器更是針對特殊工藝需求，提供了更為可靠的解決方案。

專為高流量電子級氣體超純凈化設計

0F系列在線式專用氣體過濾器采用先進的過濾技術，過濾精度高達0.003μm，能夠有效去除氣體中的微小顆粒和雜質，確保氣體的超高純度。其緊湊的結構設計和高強度的材料選擇，使其在高流量氣體輸送過程中表現出色，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體的凈化處理。

先進的結構設計與材質選擇

0F系列過濾器采用全焊接316L不銹鋼外殼，整體結構堅固耐用，不僅確保了與多種半導體工藝氣體的兼容性，還能夠適應高溫、高壓等復雜工藝條件。316L不銹鋼粉末燒結濾芯材質，進一步提升了過濾器的性能和使用壽命。內表面經過特殊處理，進一步降低了氣體輸送過程中的污染風險。

產品特點

● ?整體316L不銹鋼結構：堅固耐用，耐腐蝕性強，確保長期穩定運行。

● ?適合高溫應用：能夠適應高溫工藝環境，滿足半導體制造過程中的嚴格要求。

● ?超高顆粒攔截率：過濾精度高達0.003μm，有效去除氣體中的微小顆粒，確保氣體超高純度。

● ?高流量、高強度、穩定可靠：緊湊的結構設計和高強度材料，確保高流量氣體輸送的穩定性和可靠性。

● ?適用于多種工藝氣體：與大宗氣體及惰性氣體兼容，滿足不同工藝需求。

● ?可選其他點位在線安裝：靈活的安裝方式，方便快捷，便于集成到現有系統中。

● ?100%完整性測試：出廠前經過嚴格測試，確保過濾器的完整性和性能。

● ?100%氨氣檢漏測試：嚴格的質量控制，確保過濾器的密封性和可靠性。

應用領域

0F系列在線式專用氣體過濾器廣泛應用于半導體、LED、光伏及MEMS等行業，尤其適用于以下場景：

● ?大流量特種氣體供應：為高純度氣體供應提供可靠的過濾保障。

● ?超高純度氣棒：確保氣體在輸送過程中的超高純度，滿足高精度工藝需求。

● ?閥歧管箱、氣柜等工藝需求：為復雜的氣體輸送系統提供高效的過濾解決方案。

哈氏合金在線式氣體過濾器

針對特殊工藝需求，0F系列還提供哈氏合金在線式氣體過濾器。哈氏合金具有優異的耐腐蝕性和高溫性能，能夠滿足更為苛刻的工藝條件。這種過濾器特別適用于需要高耐腐蝕性和高溫穩定性的應用場景，如某些特殊化學氣相沉積(CVD)工藝。

為高科技行業提供可靠的氣體過濾解決方案

0F系列在線式專用氣體過濾器憑借其卓越的性能、先進的技術以及靈活的定制化服務，成為半導體、LED、光伏及MEMS等行業氣體過濾的不二之選。選擇0F系列，就是選擇高純度、高效率和高可靠性的氣體過濾解決方案，讓我們共同助力高科技行業的高質量發展。